Peugleh Plasma Peuturi .

Plasma, lagee padat, caer, ngon gas, nakeuh keadaan materi, cit jituri seubagoe keadaan materi keupeut. Plasma nyan teubentuk watee energi nyang cukop ji terapkan bak saboh gah keu ji ionkan. Komponen "aktif" nibak plasma termasok ion, elektron, radikal reaktif, nuklida teu tereksitasi (keadaan metastabil), ngon foton. Sistem peulaku wateh plasma geu manfaatkan sifeut komponen aktif nyo untuk geu peulaku wateh sampel, geu capai tujuan lage peugleh, modifikasi, ngon abu fotoresist.